德州新聞網訊（記者 李榕 劉瀟 通訊員 韓哲）10月16日，山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產業(yè)化項目在德州天衢新區(qū)實現(xiàn)通線，這是全省首條12英寸集成電路用大硅片生產線，標志著山東在完善集成電路產業(yè)鏈上邁出了關鍵一步。項目達產后，將形成年產能120萬片的生產規(guī)模。

當日，在位于天衢新區(qū)的山東有研艾斯半導體材料有限公司無塵車間內，經過單晶拉制、滾磨截斷、線切割等數(shù)十道工序，一片片12英寸大硅片成功下線。

硅片即“晶圓”，是制造芯片的關鍵材料，相當于芯片的“地基”。12英寸大硅片的面積是8英寸硅片的2.25倍，可使用率是其2.5倍左右，隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展，硅片趨向大尺寸化，12英寸大硅片已成為當前及未來較長時間內的主流產品。

“我們是山東省內唯一生產12英寸大硅片的企業(yè)，目前可實現(xiàn)月產能10萬片。硅片出廠時最高與最低的平整度誤差不超過0.1微米。”山東有研艾斯總經理閆志瑞介紹，硅片直徑越大，封裝出的芯片越多，單個芯片制造成本就越低，同時對硅片生產的材料和技術要求越高，制造難度也越大。其中，單晶工藝是最核心的技術，決定了硅片尺寸、電阻率、純度等。歷經3年技術研發(fā)，山東有研艾斯攻克了單晶微缺陷、硅片幾何尺寸、硅片表面沾污等關鍵技術，目前已在國內外多家知名集成電路制造企業(yè)開展產品驗證。

據悉，該項目是國內半導體材料龍頭企業(yè)中國有研科技集團有限公司參股布局的重點項目之一，一期投資25億元，達產后可形成年產能120萬片大硅片的生產規(guī)模，將徹底改變我國12英寸大硅片依賴進口的局面。

2018年以來，中國有研在德州投資近百億元，落地7個項目，目前已投產4個，德州成為該企業(yè)在全國投資布局規(guī)模最大、業(yè)務領域最廣的科技成果轉化基地。天衢新區(qū)依托中國有研集成電路關鍵材料國家工程研究中心，打造中國集成電路關鍵材料（德州）基地，將成為北方最大的集成電路用大硅片生產基地。

企業(yè)投資持續(xù)“加碼”，中國有研科技集團有限公司黨委委員、副總經理周旗鋼對此信心十足，“投資項目進展順利、運行正常，事實證明當初選擇德州是正確的?！彼硎?，德州將有研作為鏈主企業(yè)重點培育，精心建設專業(yè)園區(qū)，形成了較為完善的半導體材料產業(yè)生態(tài)，有研也將充分發(fā)揮頭部效應，集聚更多上下游企業(yè)落戶德州。

近年來，德州半導體材料產業(yè)發(fā)展迅猛。山東有研入選省級“雁陣形”產業(yè)集群領軍企業(yè)庫，天衢新區(qū)電子信息（集成電路）入選山東省戰(zhàn)略性新興產業(yè)集群和特色產業(yè)集群，已成為全省半導體材料產業(yè)高質量發(fā)展的重要增長極，一批高端優(yōu)質項目在德州聚鏈成群，蓬勃發(fā)展。